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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小





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东莞市力翔空调净化工程有限公司(www.dglihua.cn)部建立了标准服务程序,设备实行终身跟踪服务,并于保修期内免费定期检测、维护、保养,我们始终把科技进步放在企业发展的重要地位,坚持技术领先的优势,确保每项工程的质量及其技术的领先地位,保证质量、管理严谨、施工规范、保证工程、跟踪服务是我司一贯的承诺!

■对我们来说更为重要的是

钻研“无尘车间”问题已经成为我们的习惯,特殊的无尘车间要求有特殊的解决方案。

我们追求*高的精密度和*的质量。

热忱欢迎您来洽谈业务

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